مقاله ي مشترك سه نفر از اعضاي گروه پژوهشي فناوري خلأبالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف جهت چاپ در نشريه علمي و پژوهشي علوم و مهندسي سطح پذيرفته شد.
 
به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي صنعتي شريف، مقاله ي «طراحي و ساخت يك كاتد كندوپاش مگنترون با استفاده از شبيه سازي ميدان مغناطيسي و بررسي نرخ لايه نشاني» توسط مصطفي سلحشور كارشناس پلاسماي گروه پژوهشي فناوري خلأ، كوروس حمزه  و علي اصغر زواريان از اعضاي هيات علمي جهاددانشگاهي صنعتي شريف نوشته شده است.
اين مقاله در شماره 10 نشريه علمي و پژوهشي علوم و مهندسي سطح انجمن علوم و تكنولوژي سطح ايران در اسفندماه سال جاري منتشر مي شود.


در چكيده اين مقاله آمده است؛
طرح بهينه سازي كاتد مگنترون RF اسپاترينگ به منظور بهبود مشخصات فني كاتد اسپاترينگ موجود ساخت مركز فناوري خلأ بالاي جهاددانشگاهي تعريف شده است. در اين طرح براي اولين بار در كشور از نرم افزار ANSYS  براي شبيه سازي ميدان مغناطيسي كاتد استفاده گرديده است. با شناخت صحيح از محدوديت ها و قابليت هاي فيزيكي و تكنولوژيكي موجود، طرح ابتدا به صورت مجازي به كمك نرم افزار بهينه سازي شد و با ملاحظات مهندسي پياده سازي گرديد و مورد آزمايش هاي متعدد قرار گرفت. پارامترهاي كمي مورد بررسي شامل شدت ميدان مغناطيسي در سطح كاتد، حداكثر توان، حداكثر آهنگ لايه نشاني، ميزان استفاده مفيد از هدف، ميزان ايزولاسيون الكتريكي و مشخصات كيفي مورد بررسي شامل سهولت مونتاژ و دمونتاژ، پايداري پلاسما، سهولت ساخت قطعات، قدرت خنك كنندگي هدف و كاهش وزن كاتد هستند. كاتد ساخته شده با طرح بهينه، داراي توان بيش از يك كيلو وات در فشار كمتر از 50 ميلي تور، آهنگ لايه نشاني نزديك به 20 نانومتر در ثانيه است. اين كاتد با مولد RF و مدار تطبيق امپدانس در قدرت 600 وات نيز به خوبي كار مي كند و محدوده تطبيق وسيعي در توان 200 وات مشاهده مي شود.