پذيرش مقاله اعضاي جهاددانشگاهي صنعتي شريف در نشريه علمي و پژوهشي علوم و مهندسي سطح

 

مقاله ي مشترك سه نفر از اعضاي گروه پژوهشي فناوري خلأبالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف جهت چاپ در نشريه علمي و پژوهشي علوم و مهندسي سطح پذيرفته شد.
 
به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي صنعتي شريف، مقاله ي «طراحي و ساخت يك كاتد كندوپاش مگنترون با استفاده از شبيه سازي ميدان مغناطيسي و بررسي نرخ لايه نشاني» توسط مصطفي سلحشور كارشناس پلاسماي گروه پژوهشي فناوري خلأ، كوروس حمزه  و علي اصغر زواريان از اعضاي هيات علمي جهاددانشگاهي صنعتي شريف نوشته شده است.
اين مقاله در شماره 10 نشريه علمي و پژوهشي علوم و مهندسي سطح انجمن علوم و تكنولوژي سطح ايران در اسفندماه سال جاري منتشر مي شود.

در چكيده اين مقاله آمده است؛
طرح بهينه سازي كاتد مگنترون RF اسپاترينگ به منظور بهبود مشخصات فني كاتد اسپاترينگ موجود ساخت مركز فناوري خلأ بالاي جهاددانشگاهي تعريف شده است. در اين طرح براي اولين بار در كشور از نرم افزار ANSYS  براي شبيه سازي ميدان مغناطيسي كاتد استفاده گرديده است. با شناخت صحيح از محدوديت ها و قابليت هاي فيزيكي و تكنولوژيكي موجود، طرح ابتدا به صورت مجازي به كمك نرم افزار بهينه سازي شد و با ملاحظات مهندسي پياده سازي گرديد و مورد آزمايش هاي متعدد قرار گرفت. پارامترهاي كمي مورد بررسي شامل شدت ميدان مغناطيسي در سطح كاتد، حداكثر توان، حداكثر آهنگ لايه نشاني، ميزان استفاده مفيد از هدف، ميزان ايزولاسيون الكتريكي و مشخصات كيفي مورد بررسي شامل سهولت مونتاژ و دمونتاژ، پايداري پلاسما، سهولت ساخت قطعات، قدرت خنك كنندگي هدف و كاهش وزن كاتد هستند. كاتد ساخته شده با طرح بهينه، داراي توان بيش از يك كيلو وات در فشار كمتر از 50 ميلي تور، آهنگ لايه نشاني نزديك به 20 نانومتر در ثانيه است. اين كاتد با مولد RF و مدار تطبيق امپدانس در قدرت 600 وات نيز به خوبي كار مي كند و محدوده تطبيق وسيعي در توان 200 وات مشاهده مي شود.

طراحي و ساخت سيستم لايه نشاني در خلأ بالا(مدل160-EDS) براي دانشگاه آزاد اسلامي واحدتهران مركز

 

 با پايان يافتن كار طراحي و ساخت سيستم پژوهشي لايه نشاني در خلأ بالا مدل160 EDS- در جهاددانشگاهي صنعتي شريف، اين سيستم در آزمايشگاه دانشكده فيزيك دانشگاه آزاد اسلامي واحد تهران مركز به بهره برداري رسيد.
 
به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي صنعتي شريف؛ مدير مركز خدمات تخصصي فناوري خلأ بالا گفت: سامانه لايه نشاني160-EDS كه در قالب قرادادي با دانشگاه آزاد اسلامي، طراحي و ساخته شده است در تحقيقات مربوط به فناوري هاي نانو، اپتيك، فيلترهاي نوري، اپتوالکترونيك، آينه هاي ليزر، پوشش هاي سخت، پوشش¬هاي تزئيني، ميكروالكترونيك، ليزر و ابررسانايي مورد استفاده قرار مي گيرد.
 
اشكان سپهرافغان گفت:  اين سامانه كه مجهز به دستگاه منبع تبخير الكتروني 3 كيلووات، دستگاه DC مگنترون اسپاترينگ و دستگاه ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري مي باشد، هم اكنون در محل آزمايشگاه تحقيقات دانشكده فيزيك در مجتمع پيامبر اعظم (ص) دانشگاه آزاد اسلامي واحد تهران مركز در حال بهره برداري مي باشد.
 
عضو هيات علمي جهاددانشگاهي صنعتي شريف افزود: سامانه هاي لايه نشاني در خلأ بالا با توجه به كاردبردهاي آن، داراي انواع مختلفي مي باشند. تاكنون 16 نوع از اين سامانه ها بر اساس استانداردهاي معتبر بين‌المللي توسط اين مركز توليد و به مشتريان داخلي و خارجي عرضه شده است.
 
مدير مركز خدمات تخصصي خلأ بالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف، طراحي و ساخت بر اساس نياز و درخواست سفارش دهنده ، ارتباط مداوم با كاربر و ارائه خدمات و پشتيباني فني مورد نياز به آنها را از مزاياي سيستم هاي لايه نشاني ساخته شده در اين مركز ذكر كرد.
 
وي گفت: در حال حاضر به دليل وجود تحريم ها، نمونه هاي خارجي خريداري شده، هيچ خدمات پس از فروشي از سازندگان آنها دريافت نمي كنند؛ با اين وجود با توجه به سياست هاي ملي جهاد دانشگاهي، كارشناسان مركز خدمات تخصصي فناوري خلأ بالا در بسياري موارد نسبت به تعمير و خدمات پس از فروش مورد نياز اين سيستم هاي خارجي اقدام نموده اند.
 
تاكنون طراحي و ساخت 9 مدل از انواع سامانه هاي لايه نشاني در خلأ بالا به روش فيزيكي و نيز سيستم ذوب ريسي در خلأ توسط مركز خدمات تخصصي فناوري خلأ بالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف انجام شده است. اين سامانه ها هم اكنون در دانشگاه هاي علوم پايه دامغان- شهيد بهشتي، پژوهشكده ليزر، دانشگاه دمشق، مؤسسه تحقيقات كاربردي ليزر(كشور سوريه)، دانشكده فني و مهندسي دانشگاه تربيت مدرس، سازمان انرژي اتمي بناب، پژوهشكده برق و الكترونيك، دانشگاه وليعصر رفسنجان، دانشگاه آزاد اسلامي- واحد مهاباد، دانشگاه آزاد اسلامي- واحد كرج، دانشگاه آزاد اسلامي- واحد تهران مركز و دانشگاه صنعتي اصفهان جهت بهره برداري در اختيار محققان و پژوهشگران كشور قرار دارند.
 
گفتني است كاربرد اين سامانه ها بيشتر در زمينة لايه‌نشاني لايه‌‌هاي نازك، رساناها و دي‌الكتريك‌ها است. همچنين اين سامانه¬ها در تحقيقات مربوط به صنايع نانو، اپتيك، الكترونيك نوري، ميكروالكترونيك، ليزر و ابررسانايي مورد استفاده قرار مي گيرند.

بوسيلة سامانه هاي خلأ بالا مي‌توان هوا يا گاز داخل يك محفظه با حجم معين را تا فشارهاي خيلي پايين تخليه نمود. در اين فشارها انجام فرايندها و آزمايش‌هاي فيزيكي كه نياز به يك محيط عاري از مولكول‌هاي اكسيژن و ازت و ديگر ذرات دارند، امكانپذير مي‌باشد.

همچنين انجام بعضي از فرآيندهاي متالوژيكي بسيار دقيق ذوب و قالب‌ريزي بعضي از فلزات و آلياژهاي ويژه در معرض هوا غير ممكن است و عمليات ذوب و ريخته‌گري در خلأبالا انجام مي‌گيرد.

معرفي دستاوردهاي مركز فناوري خلأبالا در نمايشگاه هفدهمين كنفرانس اپتيك و فتونیک ایران

 
مركز فناوري خلأبالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف با حضور فعال در نمايشگاه هفدهمين كنفرانس اپتيك و فتونيك ايران كه در شهر كرمان برگزار شد، دستاوردهاي علمي و پژوهشي خود را در زمينه فناوري خلأ بالا و لايه نشاني در خلأ  به مخاطبان اين كنفرانس معرفي كرد.

به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي صنعتي شريف، در نمايشگاه هفدهمين كنفرانس اپتيك و فتونيك ايران كه از هجدهم تا بيست و يكم بهمن ماه سال جاري در دانشگاه شهيد باهنر كرمان برگزار شد، مركز فناوري خلأ بالا با نمايش تجهيزاتي همچون كاتد اسپاترينگ، منبع تبخير پرتوالكتروني، كاتد تميزكاري پلاسما، ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري و اسيلاتور، و نمونه هايي از محصولات مركز ميكروالكترونيك و ساير ملزومات در اين نمايشگاه، دستاوردهاي جهاددانشگاهي صنعتي شريف در زمينه فناوري خلأ و لايه نشاني در خلأ بالا را در معرض ديد بازديد كنندگان قرار داد.

معرفي توانمنديها و محصولات جهاددانشگاهي صنعتي شريف در زمينه فناوري خلأ بالا به مشتريان داخلي، فراهم سازي زمينه برقراري ارتباط با ساير گروه هاي صنعتي از جمله صنايع دفاعي، پزشكي و ... ، و ورود به عرصه هاي جديد علمي از جمله اهداف مركز فناوري خلأ براي شركت در اين نمايشگاه داخلي عنوان شده است.

همچنين شناسايي مشتريان بالقوه، وارد شدن در عرصه هاي جديد اين فناوري، آشنايي با مشتريان مختلف و ديگر فعالان در زمينه فناوري خلأ و زمينه هاي كاري آنان از دستاوردهاي اين مركز با شركت در نمايشگاه بود.

گفتني است مخاطبین این نمایشگاه از ميان دست اندرکاران صنعت اپتیک فوتونیک کشور، لیزر، اپتیک کوانتومی، اپتوالکترونیک، مواد و ابزارهای اپتیکی، شبکه ها، ادوات مخابرات نوری و کاربردهای صنعتی، دفاعی، پزشکی و زیست محیطی تشكيل شده بودند.

اين مركز در آبان و دي ماه سالجاري نيز در سه نمايشگاه داخلي شامل نمايشگاه سومين جشنواره فناوري نانو(Iran Nano-2010) در روزهاي 3 الي 7 آبان ماه و همچنين یازدهمین نمایشگاه دستاوردهای پژوهشی و فناوری در تاريخ 4الي9 دي ماه و اولين نمايشگاه دستاوردهاي بومي سازي وخودكفايي در بخش صنعت و معدن در روزهاي 16-21 دي ماه حضوري فعال داشت.

معرفي دستاوردهاي علمي مركز فناوري خلأ بالا در نمايشگاه دستاوردهاي پيشرفته ايران در سوریه

    
 
مركز فناوري خلأ بالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف همزمان با دهه فجر و سالگرد پیروزی انقلاب اسلامی، با شركت در اولين نمايشگاه دستاوردهاي فناوري هاي پيشرفته ايران در كشور سوريه، دستاوردهاي علمي و پژوهشي خود را براي متخصصان و پژوهشگران سوريه به معرض نمايش گذاشت.
 
به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي صنعتي شريف، در اولین نمایشگاه دستاوردهای فناوری های پیشرفته ایران در سوریه، مركز فناوري خلابالا با ارائه محصولات و دستاوردهايي همچون كاتد اسپاترينگ، منبع تبخير پرتوالكتروني، ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري و اسيلاتور و همچنين نمونه هايي از محصولات مركز ميكروالكترونيك، به معرفي دستاوردهاي علمي و محصولات خود در زمينه فناوري خلا بالا، ميكرو الكترونيك و اپتيك پرداخت.

    معرفي توانمنديها و محصولات جهاددانشگاهي و مركز فناوري خلأ بالا به كشورهاي همسايه، ارتباط رو در رو با مخاطبان منطقه اي به منظور آگاهي از نيازهاي آنان و همچنين شناسايي مشتريان بالقوه از جمله اهداف مركز فناوري خلأ بالا براي شركت در نمايشگاههاي خارجي مي باشد.

در حاشيه برگزاري نمايشگاه دستاوردهاي فناورانه ايران در دمشق، مهندس محمد فرخ معاون پژوهش جهاددانشگاهي صنعتي شريف و مهندس اشكان سپهرافغان مدير مركز فناوري خلأ بالا در نشستي با مسئولان موسسه پژوهش كاربرد ليزر دانشگاه دمشق  براي طراحي و ساخت سيستم لايه نشاني با ليزر پالسي به توافق رسيدند.
    همچنين در ارتباط با ارتقاء، تعمير و نگهداري سيستم لايه نشاني خلا بالا ي اين موسسه كه در سال 2004  توسط مركز فناوري خلأ بالا طراحي و ساخته شده است، به توافق رسيدند.

نمايندگان جهاددانشگاهي صنعتي شريف در اين نمايشگاه، در نشستي ديگر با مسئولان موسسه تحقيقات و مطالعات علمي سوريه (SSRC)، در ارتباط با ارتقاء، تعمير و نگهداري سيستم لايه نشاني خلأبالا ي اين موسسه به توافق رسيدند.

گفتني است سيستم لايه نشاني خلأبالا ي موسسه پژوهش كاربرد ليزر دمشق توسط متخصصان مركز فناوري خلا بالا طراحي و ساخته شده است كه از سال1382 (2004 ميلادي) تاكنون در اين موسسه در حال بهره برداري است.

در طول زمان برگزاري نمايشگاه، نخست وزير سوريه به همراه تيم اقتصادي، وزير بهداشت، وزير نيرو، وزير نفت، مفتي اعظم دمشق، كارشناسان و مسئولين سازمان انرژي اتمي سوريه، اساتيد و روساي دانشگاههاي دمشق و رئيس موسسه پژوهش كاربرد ليزر دمشق و همچنين مسئولان و اساتيد موسسه تحقيات و مطالعات علمي سوريه (ssrc) از غرفه جهاددانشگاهي صنعتي شريف در نمايشگاه دستاوردهاي پيشرفته ايران در سوريه بازديد كردند و از نزديك با دستاوردهاي علمي آن آشنا شدند.

لازم به ذكر است، در اين نمايشگاه كه 18 بهمن ماه سالجاري از سوي "اسفنديار رحيم مشايي" مشاور رييس جمهوري در امور خاورميانه و رييس دفتر رييس جمهوري افتتاح شد و به مدت 4 روز در كشور سوريه ادامه داشت، محصولات و دستاوردهاي مركز فناوري خلأ جهاددانشگاهي صنعتي شريف به همراه آخرين دستاوردهاي 130 شركت در زمينه هاي بيوتكنولوژي، نانوتكنولوژي، ميكرو -الكترونيك، دارويي، پزشكي ،هوا فضا، انرژي هاي نو، تجهيزات نفتي (حفاري و اكتشافي)، نفت و گاز، ماشين افزار و اتوماسيون، بيومتريك، تجهيزات مرتبط با انتقال نيرو در معرض ديد عموم قرار گرفت.

مركز خدمات تخصصي فناوري خلأ بالا

 

خدمات و تواناييهاي تخصصي

• طراحي و ساخت سيستمهاي لايه نشاني در خلأ بالا

• طراحي و ساخت تجهيزات جانبي سيستمهاي لايه نشاني در خلأ بالا مانند: منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، سيستم مگنترون اسپاترينگ (DC & RF)، ضخامتسنج كريستالي كامپيوتري

سوابق و تجربيات

• ساخت سيستم لايه نشاني در خلأ بالا مدل JDM250 شامل محفظه خلأ 120 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي، مگنترون اسپاترينگ DC و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري براي دانشگاه علوم پايه دامغان(سال1380)

• ساخت سيستم لايه نشاني تبخير در خلأ مدل JLM250 شامل محفظه خلأ 120 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي و ضخامت سنج كريستالي کامپيوتري براي دانشگاه شهيد بهشتي- پژوهشكده ليزر(سال1381)

• ساخت سيستم لايه نشاني در خلأ بالا مدل JSM200 شامل محفظه خلأ 110 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري براي دانشگاه دمشق (كشور سوريه) مؤسسه تحقيقات كاربردي ليزر(سال 1382)

• ساخت سيستم لايه نشاني تبخير با پرتو الكتروني بالا مدل EVS200 شامل محفظه خلأ 110 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري براي دانشگاه تربيت مدرس(سال 1383)

• ساخت سيستم لايه نشاني RF & DC مگنترون اسپاترينگ مدل MSS160 شامل محفظه 60 ليتري، كاتدهاي مگنترون اسپاترينگ DC و RF، ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري و ايستگاه عمليات حرارتي براي دانشگاه تربيت مدرس(سال 1383) و پژوهشكده برق و الكترونيك(سال 1385) و پژوهشكده مواد و انرژي(سال 1388) و دانشگاه صنعتي اصفهان(سال 1388)

• ساخت سيستم لايه نشاني تبخير با پرتو الكتروني و اسپاترينگ مدل EMS شامل محفظه خلأ 110 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي، مگنترون اسپاترينگ DC و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري براي سازمان انرژي اتمي بناب(سال 1384)

• ساخت سيستم انجماد سريع به روش چرخش مذاب تحت خلأ بالا براي پژوهشکده توسعه تکنولوژي(سال 1383)

• ساخت سيستم لايه نشاني با ليزر مدل LTS شامل محفظه 20 ليتري، مجموعه گرداننده ماده هدف و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري براي دانشگاه ولي عصر رفسنجان(سال 1387)

• ساخت سيستم لايه نشاني با پرتوالكتروني بالا مدلETS160 شامل محفظه خلأ 110 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري براي پژوهشكده برق و الكترونيك(سال 1384)، دانشگاه آزاد اسلامي- واحد مهاباد(سال 1387)

• ساخت سيستم لايه نشاني با پرتو الكتروني مدل ETS160 شامل محفظه خلأ 110 ليتري، منبع تبخير مقاومتي جريان بالا، منبع تبخير پرتو الكتروني مغناطيسي، مگنترون اسپاترينگ DC و ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري  براي دانشگاه آزاد اسلامي- واحد كرج(سال 1388)، دانشگاه آزاد اسلامي-واحد تهران مركز(سال 1388) و مركز ميكروالكترونيك جهاد دانشگاهي صنعتي شريف(سال 1388)

تلفن: [phone]

نمابر: ۶۶۰۱۲۴۹۷-۰۲۱

پست الکترونیکی: [e-mail]